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等离子体处理系统

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等离子体处理系统

  • 所属分类:真空等离子设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/02/13
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详细介绍

机台名称:等离子体处理系统

机台型号:PLAUX-PM/PR16A

整机规格:800mm(W)×1200mm(D)×2060mm(H)

电极规格:16层平板式电极板(460mm×510mm)

电源系统:10KW等离子发生源(40KHz,可选13.56MHz)

控制系统:PC工控系统+PLC自动控制

进气系统:2-5路工作气体可选:Ar、N2、H2、CF4、O2

特点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。

用途:适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

   ★印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬接合板表面清洁、去钻污,软板补强前的活化。

   ★半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗。

   ★硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。


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