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等离子体处理仪

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等离子体处理仪

  • 所属分类:真空等离子设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/02/13
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详细介绍

机台名称:等离子体处理仪

机台型号:PLAUX-PR24L

整机规格:650mm(W)×580mm(D)×480mm(H)

腔体规格:260mm(W)×350mm(D)×260mm(H)

输入电压:220V三相50Hz      输出电压: 0-500V             

输出电压频率:13.56MHz±50Hz     

可加载气体:氩气(Ar)、氧气(O2)等,可同时接通2种气体


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