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等离子体清洗机

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等离子体清洗机

  • 所属分类:真空等离子设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/02/13
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详细介绍

机台名称:等离子体清洗机                          

机台型号:PLAUX-PM500L

整机规格:1810mm(W)×1390(H)×1080mm(D)

真空室规格:700mm(W)×1000mm(H)×600mm(D)----料车

电源系统:13.56MHz等离子体发生源(500W,全自动阻抗匹配)

控制系统:触摸屏+PLC自动控制

进气系统:2-5路工作气体可选:Ar、N2、H2、CF4、O2

特点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。

用途:适用于LED、LCD、SMT领域,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业等。

   ★LED、LCD、SMT领域:LED打线、IC封装前的清洗,LCD制造工艺中清洗偏光片、排线基位,电子元器件、光学元器件表面的清洗。

   ★硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。


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