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实验型小设备

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实验型小设备

  • 所属分类:真空等离子设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/02/13
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详细介绍

机台型号: PLAUX-PMT100C

                   

主机规格: 600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)

 

真空室规格:Φ160mm×210mm,石英玻璃(4L)

 

电极板规格:120mm×180mm,平放/悬挂均可,单层

 

电极结构:外置环形电极

 

电源系统:AC220V(±20%)

 

等离子发生器: 40KHz,高频发生源,0-100W可调


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